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靶材是通過(guò)磁控濺射、多弧離子鍍或其他類(lèi)型的鍍膜系統(tǒng)在適當(dāng)工藝條件下濺射在基板上形成各種功能薄膜的濺射源。簡(jiǎn)單的說(shuō)，靶材就是高速荷能粒子轟擊的目標(biāo)材料，用于高能激光器中，不同功率密度、不同輸出波形、不同波長(zhǎng)的激光與不同的靶材相互作用時(shí)，會(huì)產(chǎn)生不同的破壞效應(yīng)。更換不同的靶材（如鋁、銅、不銹鋼、鈦、鎳靶等），即可得到不同的膜系（如超硬、耐磨、防腐的合金膜等）。將鐵磁性靶材的厚度減薄是解決磁控濺射鐵磁材料靶材的常見(jiàn)方法。如果鐵磁性靶材足夠薄，則其不能全屏蔽磁場(chǎng)，一部分磁通將靶材飽和，...

超薄純碳膜不帶芳華膜，負(fù)載于微柵碳膜上，微柵碳膜孔洞上碳膜厚度小于3nm，是目前薄的碳支持膜。此超薄純碳膜非常適用于低對(duì)比度顆粒樣品做高分辨TEM。電子顯微鏡與光學(xué)顯微鏡的成像原理基本一樣，所不同的是前者用電子束作光源，用電磁場(chǎng)作透鏡。另外，由于電子束的穿透力很弱，因此用于電鏡的標(biāo)本須制成厚度約50nm左右的超薄切片。這種切片需要用超薄切片機(jī)制作。電子顯微鏡的放大倍數(shù)高可達(dá)近百萬(wàn)倍、由照明系統(tǒng)、成像系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、記錄系統(tǒng)、電源系統(tǒng)構(gòu)成，如果細(xì)分的話(huà)，主體部分是電子透鏡和顯像...

碳膜即碳支持膜，是透射電子顯微鏡(TEM)用來(lái)檢測(cè)樣品的專(zhuān)用載體，主要應(yīng)用于納米材料、生物材料等微觀(guān)物質(zhì)的表征，是常用的支持膜之一。當(dāng)碳膜用在電阻領(lǐng)域時(shí)，電阻的類(lèi)型較多，其外形、價(jià)格、性能差異較大，分別適用于不同的電路場(chǎng)合，不同材料的產(chǎn)品其性質(zhì)各有區(qū)別，我們來(lái)看看：1.碳膜電阻碳膜電阻(碳薄膜電阻)為早期也普遍使用的電阻器，利用真空噴涂技術(shù)在瓷棒上面噴涂一層碳膜，再將碳膜外層加工切割成螺旋紋狀，依照螺旋紋的多寡來(lái)定其電阻值，螺旋紋愈多時(shí)表示電阻值愈大。后在外層涂上環(huán)氧樹(shù)脂密封...

在利用掃描電鏡分析非導(dǎo)電樣品時(shí)，因?yàn)闃悠返牟粚?dǎo)電性，會(huì)在樣品表面累積電離子，因此在成像過(guò)程中會(huì)產(chǎn)生大量的放電現(xiàn)象，嚴(yán)重影響圖像質(zhì)量。因此在觀(guān)察非導(dǎo)體時(shí)一般都要事先用鍍膜儀在試樣表面上蒸涂（沉積）一層重金屬導(dǎo)電膜，這樣既可以消除試樣荷電現(xiàn)象，又可以增加試樣表面導(dǎo)電導(dǎo)熱性，減少電子束造成的試樣（如高分子及生物試樣）損傷、提高二次電子發(fā)射率。鍍膜儀當(dāng)接通高壓，陰極發(fā)射電子，電子能量增加到1-3kev，轟擊低真空中（3-10pA)的氣體，使其電離，激發(fā)出的電子在電場(chǎng)中被加速，繼續(xù)轟擊...

靶材特別是高純度濺射靶材應(yīng)用于電子元器件制造的物理氣相沉積工藝（PVD），是制備晶圓、面板、太陽(yáng)能電池等表面電子薄膜的關(guān)鍵材料。所謂濺射是制備薄膜材料的主要技術(shù)，也是PVD的一種。它通過(guò)在PVD設(shè)備中用離子對(duì)目標(biāo)物進(jìn)行轟擊，使得靶材中的金屬原子以一定能量逸出，從而在晶圓表面沉積，濺鍍形成金屬薄膜，其中被轟擊的固體是用濺射法沉積薄膜的原材料，稱(chēng)為濺射靶材。對(duì)靶材用量較大的行業(yè)主要有半導(dǎo)體集成電路、平板顯示器、太陽(yáng)能電池、磁記錄介質(zhì)、光學(xué)器件等。其中，高純度濺射靶材主要用于對(duì)材料...

探針可以將質(zhì)譜測(cè)定技術(shù)與離子發(fā)射顯微鏡技術(shù)相結(jié)合作為現(xiàn)代儀器分析方法。能提供一般質(zhì)譜分析所不能提供的試樣微區(qū)質(zhì)譜。由于它能對(duì)固體物質(zhì)作微區(qū)、微量及深度成分分析，在某些條件下檢測(cè)靈敏度可達(dá)ppb數(shù)量級(jí)，因此被廣泛用于半導(dǎo)體、冶金、地質(zhì)和生物研究等部門(mén)。其原理是利用聚焦的高能一次離子束轟擊試樣表面，濺射出表征試樣成分的二次離子束，通過(guò)磁場(chǎng)完成質(zhì)荷比分離，根據(jù)二次離子的質(zhì)荷比和強(qiáng)度來(lái)進(jìn)行定性和定量分析。探針的主要應(yīng)用領(lǐng)域有以下幾大常見(jiàn)的：1.半導(dǎo)體材料①表面、界面和體材料的雜質(zhì)分析...

徠卡超薄切片機(jī)可進(jìn)行常溫或冷凍的半薄和超薄切片，以及樣品表面光滑處理，為透射電鏡、掃描電鏡、原子力顯微鏡和光鏡檢驗(yàn)生物樣品，高分子材料以及工業(yè)樣品提供切片制樣。該超薄切片機(jī)為機(jī)械推進(jìn)式切片機(jī)，用微動(dòng)螺旋和微動(dòng)杠桿來(lái)提供微小推進(jìn)，使用金剛石刀片對(duì)樣品進(jìn)行切片。用超薄切片法，可得到25左右的分辨率;同電鏡本身早已達(dá)到2-3的分辨本領(lǐng)相比，還有相當(dāng)大的“差距”。這種差距意味著許多結(jié)構(gòu)細(xì)節(jié)尚未被人們發(fā)現(xiàn)和認(rèn)識(shí)，同時(shí)也告誡人們不能滿(mǎn)足現(xiàn)今已有的制樣技術(shù)。在電鏡技術(shù)中，有兩種分辨率：一種...